制绒清洗机设备

发布时间 2010-12-03 08:59:27

设备简介：

1）主要用于单、多晶硅太阳能电池片生产,扩散前的绒面腐蚀和清洗。

2）工艺流程：

上料→HF＋HNO3腐蚀→QDR＋氮气鼓泡＋喷淋→KOH腐蚀→QDR＋氮气鼓泡＋喷淋→HCl腐蚀→QDR＋氮气鼓泡＋喷淋→下料→离心机甩干（离线）

3）设备采用龙门式机械手方式移动，其工艺时间可以自行调节，酸碱槽具有自动补液装置，可实现无间断生产。能显示温度曲线、浓度变化曲线，及各个工位的工作状态。具有设备报警说明，报警历史查询功能。对清洗用纯水有电阻率监测装置，能存储10个以上工艺方案；

4）标准工艺下产量：125mm×125mm、156mm×156mm、 210mm×210mm的硅片，适用于投产厚度为160±30～200±30微米的硅片，硅片产能不低于1200片/小时，设备开工率＞92﹪，碎片率≤3‰。

北京华林伟业半导体设备有限公司

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