全自动硅片清洗机

发布时间 2010-12-03 08:59:23

设备简介：

适用于2″~8″硅片的腐蚀

1．概述：本设备为柜体式腐蚀机，整台设备均采用进口件。

2．基本材质：箱体材质：德国磁白色聚丙烯（PP）；门板材质：德国透明聚氯乙烯（PVC）；腐蚀槽材质：德国自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽材质：德国自然色聚丙烯板（NPP）；

3．本设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动，以迅速实现两槽之间的硅片转换。

4．腐蚀槽配有美国聚四氟乙烯加热

器、虹吸上排、传感器。

5．清洗槽配有溢流装置，和N2鼓泡装置。

6．整机外型美观、实用。

北京华林伟业半导体设备有限公司

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