半导体器件设备-炉管清洗机

炉管清洗机 -- 适用于1″~8″石英管酸泡本设备为柜体式，整体采用德国NPP 1．操作方式：手动操作 2．酸泡满足工艺：上料槽1→清洗液1浸泡→清洗石英管内外表面→上料槽2→清洗液2浸泡→清洗石英管内外表面→下料 3．基本材质：槽体材质：德国进口聚丙烯（NPP）骨架材质：不锈耐酸钢（1cr18NI9TI）管道材质：上水管件PVDF：德国进口聚偏二氟乙烯下水材质：德国PP 柜体窗板：德国进口透明聚氯乙烯（PVC）柜体材质：德国进口聚丙烯（PP） 4．结构特点： ⑴柜体式，前面带有透明门窗。 ⑵槽下设有接漏盘，漏盘装有漏液报警装置。 ⑶槽盖密封采用U型结构，以保证其密封效果良好。 ⑷酸槽1、2槽中间设有DI水清洗槽，有冷热DI水上给水，便于配酸和冲洗槽体，石英管，给水**可旋转。 ⑸槽1酸液排放为虹吸上排式，槽2酸液排放为自排式。 ⑹机台配有排风装置。 ⑺配有美国进口水枪、氮气喷枪各一支。 ⑻内设照明装置。

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