多工位高真空真空存储柜

设备概述：

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        真空储存柜用于电子产品(半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件、高级金属制品、厌氧产品、易氧化产品等)，在真空环境下储存，具备防止氧化、变色、褐变、受潮、可保质延长产品储存期限等功能。

技术参数：

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        1、工位数：11个；

        2、极限真空度：＜10-4Pa；

        3、系统漏率：＜10-10Pa.m?/S；

        4、腔体尺寸：按需求定制;

        5、每个工位可独立控制，可单独抽气和放气，可选择氮气清洗模式或者抽真空模式；

        6、整个系统保证纯无油状态；

        7、进气管路设置过滤器；   

 

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