20工位超高真空排气台

一、设备简介

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       本装置用于红外器件、激光陀螺产品真空排气、充气和老化试验，提供真空、烘烤环境。

整套设备由四个方面构成，即真空主抽系统、工件充气系统、温度保障系统、设备控制监测系统。设备保持清洁无污染，采用离子泵、分子泵、机械泵系统获得高真空。设备具有工作可靠、性能稳定，运行噪音小，整体安装布局合理、紧凑，便于操作和维护维修等特点。

 

二、技术指标

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1. 1、极限压力：常温≤10-7Pa；

2. 2、系统漏率：≤10-10Pa.m3/s；

3. 3、工件连接阀、充气微调阀和气瓶高阀漏率：≤10-10Pa.m3/s；

4. 4、管道和阀门耐烘烤高温度：300℃，管路烘烤温度可控。；

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