外延片清洗机

用于硅外延片的清洗；
※  设备形式: 室内放置型；

※  控制模式: 手动控制模式   自动控制模式；

※  工艺说明:手动方式实现放件，取件，槽体间传送件；

※  腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；

※  工艺参数（温度，时间，水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；

※  机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域；

了解更多