晶圆清洗机
发布时间 2021-03-15 11:02:21
产品描述
生产主线为：石英加热槽1、石英槽2、单频超声槽3 、QDR槽4、多频超声槽5、QDR槽6、兆声槽7、QDR槽8，共8个清洗工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；顶部及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的半自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于工装上，再由PLC控制机械手依次将花篮输送到各个工位，按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。
北京华林嘉业科技有限公司
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