现代南光真空设备—JC500-2 D型磁控溅射镀膜机

JC500-2/D型磁控溅射镀膜机是在真空条件下，用溅射方式沉积各种薄膜的设备。该机配置分子泵抽气系统，能快速获得基本无油的高真空环境。设备的靶、烘烤置于顶盖下方，由上往下溅射，并可随盖升降，装卸基片更换靶材方便。此设备适用于科研及生产使用。（此设备有直流磁控靶和射频靶各一个）

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