溅射台

产品特性：
 ? 通过利用常规过程数据和专有技术重新设计了易用性
 ? 通过在负载锁定室中安装暗盒机构（可选）来提高生产率
 ? zui大基板传送尺寸为Φ300mm（在中心Φ200mm处保证了厚度分布）。
 ? 支持堆叠/同时溅射多个阴极
 ? 通过触摸屏和配方输入自动处理，节省了人工
 ? 可以记录数据

产品应用：
? 电极成膜/多层电极及同时成膜应用
? 形成狄登膜，绝缘膜，钝化膜，保护膜等
? 用于电子零件和小规模生产的研发

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