SJ6000激光干涉仪

发布时间 2022-12-30 17:10:45

产品描述

一.SJ6000激光干涉仪功能

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、**高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。

二.SJ6000激光干涉仪原理

中图SJ6000激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

三.SJ6000激光干涉仪性能特点

1.测量精度高、速度快,稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。

③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。

四.SJ6000激光干涉仪软件内置标准

序号

标准号

标准名称

1

ISO230-2

老版国际标准

2

ISO230-1997

新版国际标准

3

ANSI B5.54

美国国家标准

4

ASME B89.1.12M

美国机械工程师协会标准

5

NMTBA

美国机床协会标准

6

BS 3800

英国机床标准

7

BS 4656

英国三测机标准

8

JIS B6330

日本国家标准

9

GB 17421-2000

中国国家标准

10

VDI 3441

德国机床标准

 
五.SJ6000激光干涉仪技术参数

*      系统性能

?    测量方式:单频

?    稳频精度:0.05ppm

?    动态采集频率:50 kHz

?    预热时间:5-10分钟

?    工作温度范围:0~38℃

?    环境温度范围:0~38℃,环境湿度:0~95%

?    存储温度范围:-20℃~70℃

*      环境补偿示值误差

?    空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

?    材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

?    空气湿度传感器:±6% (0-95%)

?    大气压力传感器:±0.1kPa

*      线性测量

?    测量距离:0-40m

?    测量精度:0.5ppm (0-38℃)

?    测量分辨率:1nm

?    测量**大速度:3m/sec

*      角度测量

?    轴向量程:0-15m

?    测量范围:±10°

?    测量精度:±(0.1+0.2%R+0.02M)″(R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)

?    测量分辨率:0.1″

*      平面度测量

?    轴向量程:0-15 m

?    测量范围:±1.5 mm

?    测量精度:±(0.6%R+0.02 M2)μm(R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

?    基板尺寸:50mm、100mm、150mm

测量分辨率:0.1μm

*      直线度测量

?    轴向量程:0.1-4.0 m

?    测量范围:±3.5 mm

?    测量精度:±(0.5+0.1%R +0.15M2)μm(R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

?    测量分辨率:0.01μm

*      垂直度测量

?    轴向量程:0.1-3.0 m

测量范围:±3.5mm

?    测量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″(R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)

?    测量分辨率:0.01μm/m

*      回转轴分度精度测量

?    角度测量范围:0-360°

?    精密转台角度增量:5°

?    精密转台分度精度:±1″

?    精密转台重复性:0.2″

六.SJ6000激光干涉仪配置

  1. SJ6000主机:1台
  2. 环境补偿单元:1台
  3. 光学镜组:

线性测量光学镜组:1套(标准配置)

小型线性光学镜组:1套(选配)

      小角度测量光学镜组:1套(选配)

      直线度测量光学镜组:1套(选配)

      垂直度测量光学镜组:1套(选配)

      平面度测量辅助附件:1套(选配)

回转轴测量精密转台:1套(选配)

  1. 测量软件:1套
  2. 便携式笔记本电脑:1台
  3. 便携式仪器配件箱:1个
  4. 通用三脚架:1个
  5. 云台附件:1套
  6. 磁性表座:2套
  7.  产品使用说明书:1套
  8.  产品合格证、保修卡:1套
  9.  免费保修:1年
  10. 校准证书(选配)

激光频率校准证书:

   1)由深圳市计量质量检测研究院出具;

   2)由其它机构出具。

环境补偿单元校准证书:
  1)由深圳市计量质量检测研究院出具;
  2)由其它机构出具。
线性位移校准证书:
  1)由中国计量院出具;
  2)由其它机构出具。
直线度校准证书:
  1)由中国计量院出具;
  2)由其它机构出具。
小角度校准证书:
  1)由中国计量院出具;
  2)由其它机构出具。

激光干涉仪示意图

深圳市中图仪器股份有限公司
联系人 罗健
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18928463988 
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