PECVD 气相沉积系

 

德国SENTECH公司 PECVD 气相沉积系统-----上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州

 SENTECH仪器（德国）有限公司研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪）、光伏测量仪器（在线和离线测量工具）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、原子层沉积系统、用户定制多腔系统）。
    仪器广泛应用于微电子、光电、纳米技术、LED、平板显示、材料、有机电子、光伏、玻璃镀膜、生物学、生命科学、等研发领域。

 NOVTEC寓意“科技创新”，即诺威特测控科技有限公司，在德国、日本设有代表处，多年来致力于将世界**品牌的高科技产品带给中国及亚洲的广大用户，并为客户提供完善的售后服务，协助他们提高生产技术水平、竞争力及增加盈利，专业从事工业测量与测试产品的销售与研发，拥有产品研发中心、研究院和生产工厂，技术力量雄厚。

  

 产品简介

SI500D突出优点是采用平板三螺旋天线PTSA电感耦合等离子体ICP源和背部有氧气冷却系统的下电极，**大样片直径8吋。ICPECVD感应耦合等离子增强化学气相沉积系统SI500D满足高端工艺要求，适用于器材的生产和研发应用。SI500D在基于硅烷的沉积工艺中具有出色的性能。

SI500PPD是标准的PECVD系统，配置带干泵的预真空室，真空反应腔配置罗茨泵和涡轮分子泵。
    Depolad200是经济型的PECVD系统，具有模块化设计、工艺灵活和操作简便的特点，样片直接放置。刻逐步进行真空系统、供气系统的升级，以满足更高的工艺要求。

 

型号

SI500D	ICPECVD沉积系统	室温~350℃
SI500PPD	PECVD沉积系统	带预真空室	200℃~350℃
Depolab200	PECVD沉积系统	不带预真空室	200℃~400℃

具体型号及技术要求欢迎来电咨询。

联系方式：

诺威特测控科技有限公司

Add：中国苏州市高新技术开发区金枫南路198号

联系人：夏雨先生 

Tel:0512-66581379/13912618571

Fax:0512-68702009

E-mail:info@novtec.hk 

http//www.novtec.hk

 

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