高温实验炉
发布时间 2015-09-11 11:05:49
产品描述
CVD（G）系列真空高温管式炉专门设计用于高温CVD工艺,如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等等。窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，国产优质硅钼棒加热，优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空，气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制，设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
- 技术指标：
|
设 备 型 号 |
NT-CVD(G)-08/50/1 |
|
温区**高温度 |
1650℃；(**长恒温时间：≥10小时)；常用温度：1600℃(**长恒温时间：≥100小时)
|
|
加热有效容积 |
Φ72（内经）×500mm;恒温区尺寸：Φ72（内经）×250mm |
|
炉管实际尺寸 |
Φ80（外径）×1400mm （国产优质刚玉管） |
|
炉膛材 料 |
氧化铝纤维制品
|
|
控制温区点数 |
1个，1支B分度热电偶 |
|
设备温场温差 |
±1℃ ，日本岛电进口40段程序控制仪表(1只) |
|
加 热 元 件 |
优质硅钼棒
|
|
**大加热功率 |
12Kw |
|
保 温 功 率 |
5kw |
|
**大升温速率 |
3℃∽10℃/min; |
|
**大降温速率 |
3℃∽7℃/min
|
|
温度均匀性 |
±3℃(有效范围：Φ72×250mm)
|
|
气路配件材料 |
气路配件材料，端头不锈钢发兰密封， 一路气体采用浮子流量计控制， 所有管道和阀门采用不锈钢元件 |
|
极限真 空 |
≤10Pa（常温）,一级机械泵（配电磁阀）。
|
|
压升率 |
≤5Pa/h |
1000℃时可抽真空，能通氮气保护
外型参考尺寸 1250（L）×1650（H）×650（w）mm
输入动力电源 单相电源，50HZ ，220V±10%；10KW
炉体表面温升 ≤45℃
| 联系人 | 黄超斌 |
|---|---|
| 联系电话 | 0731-28212882 18674387888 |
| 地址 | 株洲天元区天易大道959号高科新马金谷A4栋D号 |
| 邮箱 | hcb6137@126.com |