真空氦质谱检漏仪
发布时间 2014-11-19 15:26:44
产品描述
简单介绍：VS系列真空检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。
安捷伦真空氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备；电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆；高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源；电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。
真空氦质谱检漏仪特点:
多种语言和计量单位选择，可选中文界面
135? 电离偏转(自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构
新的电子线路及信号处理设计
**小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
快速清氦和快速响应
测试口耐压高，可实现大漏检漏
真空氦质谱检漏仪技术规格：
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性能指标 |
PR02/PD03 |
MR15和MD30 |
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性能 |
前级泵内置式 |
前级泵外置式及小车 |
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前级泵油式机械泵 |
DS-42，2 m3/hr (34 l/m) |
DS-302，14 m3/hr (232 l/m) |
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涡卷式干泵 |
干泵-2 m3/hr (34 l/m) |
TS-620 30 m3/hr (500 l/m) |
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**小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 |
5×10-12 atm cc/sec；5×10-12 mbar l/s；5×10-13Pa m3/sec ，氦气 |
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测试口**高耐压 |
13 mbar，10 Torr，1330 Pa |
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测试口处对氦气抽速 |
1.8 l/s |
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校准 |
自动或手动（内置或外置） |
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氦本底清零 |
按键清零，并具有零点追踪功能 |
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操作界面 |
高清晰彩显，TFT触摸屏 |
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语言选择 |
中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语 |
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循环检测 |
可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点 |
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响应时间 |
＜0.5秒 |
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设定点 |
标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点 |
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通讯协议 |
RS-232 通讯接口，9600波特率（9芯串口） |
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执行标准 |
UL，CE，CSA |
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无限远程控制(选件) |
2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA电池/5VDC电源 |
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