XCTG-5+1、XCTG-6～9+2

XCTG-5+1

XCTG-6～9+2

镀膜室规格

∮700～800mm×800～880mm

∮900～1000mm×1000～1200mm

极限真空度

≤7.6×10-4Pa

冷态抽真空时间

从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟

机组配置

KT-400扩散泵机组

KT-400/ KT-500扩散泵机组

靶配置

5个电弧靶1个磁控靶

6-9个电弧靶2个磁控靶

配电要求

KW

KW

设备用途

适用于各类工具镀镀膜要求，可镀制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜层

备注

可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标**设备。可加装磁控靶、中频孪生对靶等。