TG5、TG6-9
发布时间 2019-03-04 16:56:53
产品描述
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机型\项目 |
TG5 |
TG6-9 |
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镀膜室规格 |
?700mm -800mm *800mm -880mm |
?900mm -1000mm *1000mm -1200mm |
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极限真空度 |
≤7.6×10-4Pa |
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冷态抽真空时间 |
从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟 |
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机组配置 |
KT-400扩散泵机组 |
KT-400扩散泵机组 或KT-500扩散泵机组 |
KT-600扩散泵机组 |
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靶配置 |
5个电弧靶1个磁控靶 |
6-9个电弧靶2个磁控靶 |
2个大面积弧靶2对孪生靶 |
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配电要求 |
40KW |
50KW |
60KW |
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备注 |
可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标设备 |
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佛山市佛欣真空技术有限公司
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|---|---|
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