台式等离子清洗机

发布时间 2012-06-24 14:38:26

◆ 设备外形尺寸

630(W)×650(D)×420(H)mm

◆ 仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃，约10升) Φ215 × 300(L) mm

◆ 电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)180(W) ×210(D) mm

◆ 等离子发生器(韩国KM)

频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

◆ 控制系统

触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界**品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式

◆ 真空系统德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)

SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

◆ 压力控制PID闭环自动稳压控制

◆ 气路系统

2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路

招远普斯玛等离子技术有限公司

进入店铺在线留言