卷材真空等离子处理系统

◆ 外形尺寸(不包括报警灯)1903(W)×980(D)×2075(H)mm

 ◆ 仓体结构(铝，约800升)

600(W)×840(D)×800(H)mm

 ◆ 处理材料

 材料直径：**大400mm ，材料宽度：100mm

 ◆ 等离子发生器(美国MKS)

 频率13.56MHZ,功率0-2500W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

 触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界**品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

 日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) x2台（前级泵可选配爱德华干泵）

英国爱德华罗茨泵  EH1000(280L/S)       

台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器

 ◆ 充气系统

 美国MKS高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀

 美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

 日本SMC及CKD高真空气阀组件

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