气浮XY（θ、Z）工作台

 

●可配国内外各个厂家的直线电机和光栅尺 ●可配国内外各个厂家的直线电机驱动器、控制卡、工控机 ●可选购重防护型，用于精密超精密生产设备 ●上面可以装气浮转台（θ）（T2-AB-04更适合） ●可以增加Z向（T2-AB-04更适合） ●上面可以装微动台和反射镜，配合激光干涉仪，达到纳米级精度 ●可提供订制服务，提供不同行程、承载、速度和精度的二维、三维、四维气浮工作台

序号 项目 内容 1 型号 T2-AB-03 T2-AB-04 2 **大承载 500N 3 **大行程 350mm * 350mm 4 运动直线度 ±0.5μ 5 重复运动精度 ±0.25μ

 

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