Plasma activate PA50
发布时间 2010-10-22 10:38:35
产品描述
等离子体处理可应用于所有的基材。甚至复杂的几何构形可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。此款等离子清洗机内部尺寸约为50升，等离子清洗机内部设置有一个容量约为22升的转鼓，
技术数据：
真空舱：采用高档钢材制造，带观测玻璃窗。
内部工作尺寸（约）
内部尺寸 工作体积
宽度：400mm 宽度：350mm
深度：400mm 深度：350mm
高度：400mm 高度：350mm
舱容量：64升 舱容量：42升
等离子发生器：Advanced Energy PE-1000
频率：44 kHz
**大功率1250瓦
0至1250瓦可调（通过软件调节）
温度可调
气源：两路气体通道，流量控制器
型号：V?gtlin red-y smart
可另加两路气体通道（选配）
通过“sccm”监测流量
非腐蚀性气体设置*
单个通气通道
门开关激活后，处理工艺才可以启动。
自动真空“吸入”功能
连接负载介质的供应：
总装机容量约5千瓦负荷
供电400V/16A
废气管40毫米
天然气供应0.5巴初始压力
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