半导体器件清洗设备-芯片清洗机

全自动芯片清洗机:

 1．本设备适用于半导体工艺中对芯片周边进行湿法化学腐蚀,它能够形成均匀一致的斜角，本设备技术先进，适用于规模生产。 ⑴设备是由电气控制、机架、箱体、清洗槽、机械手、伺服系统、层流净化、管路部分构成。 ⑵清洗槽是由去离子水洗槽、有机溶剂槽、酸槽、或碱槽等构成。 ⑶管路部分为了保证工作介质（酸、碱）的洁净度和避免杂质析出，特采用进口气动阀、 PFA、PVDF管道，全氟循环系统。 ⑷除装片和取片外，其余工艺动作均可自动完成，适用于连续批量生产 ⑸电控部分：人机界面为触摸屏，方便美观，可存储多套工艺，便于不同规格的硅片腐蚀。

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