主要技术指标： 1、测量范围 100-1X10Pa 2、控制范围 100-1X10Pa 3、控制准确度 ±2% ±1个字
4、流量控制范围 0-2000SCCM(主气) 0-2000SCCM(辅气) 5、比例系数调节范围 1～99%
6、工作电参数(配用Zj-10规管) 规管加速极对地电位 165V±2% 规管阴极对地电位 50±2%
收集极对地电位 0V 除气的方式 电子轰出气，**大的除气功率20W 7、离子流放大器满度误差≤5%±1个字
8、灯丝保护真空 >100Pa 9、模拟量输出 0-5V 10、外型尺寸：
KBA台式 480×119×280(宽×高×深) KBB上架式：480×119×280(宽×高×深) 11、重量
约6.5Kg(包括阀重量) 可选件： *质量流量控制器可按设备进气大小选择100SCCM、200SCCM、1SLM、
2SLM等。 *可选配0～5V/10V、0/4～10／20MA等拟量输出。 *可选配RS232等计算机接口。
*电缆可加长到100M
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