现代南光真空设备—真空镀膜机

钟罩尺寸 φ500×620mm 极限真空度 3×10-4Pa 恢复真空度 4×10-3Pa≤15min 蒸发电极对数 3对(单元交替蒸发） 蒸发源功率 3KW 离子轰击 3KV、200mA 烘烤温度 ≤350℃ 基片架转速 ≤40rpm 电源 380V/220V、50HZ、6KW

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