氦气氟油加压检漏装置

应用背景

氦气氟油加压检漏装置是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用，可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程。

 

工作原理

1、元器件的氦气加压细检

**将元器件放在能加压的密封容器中，如果元器件有漏，氦气则被压入内腔。元器件取出后放入真空容器，采用氦质检漏。

2、元器件的氟油粗检漏

将被检元器件放入压力容器中，在注入低沸点氟油、淹没工件，并用对其加压一定时间。加压完毕，取出被检件，后浸入已加热到的重氟油，观察气泡。若发现气泡，则可判定为不合格。

 

主要技术参数：

1、加压罐本底真空度优于50Pa；

2、真空测量：   热偶计；

3、充气压力：   ≤1.0MPa；

4、加热温度：   125℃土5℃；

5、升温时间：从室温到125℃ ≤30分钟； 

6、工作电压：   220VDC   50Hz

7、仪器功率：   1.5KW    （加热功率：0.4KW）；

8、照明灯：     12VDC    10W；

9、氦气罐尺寸： 157×246，单位：mm ；

10、氮气罐尺寸：157×246，单位：mm ；

11、过滤油罐过滤颗粒大小：≤5；

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