PECVD设备
发布时间 2021-09-02 16:27:22
产品描述
产品简介:
Load-lock式Plasma
CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。
产品特性:
? 27.12MHz高密度等离子制程
?
SiH4系:SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系:可对应SiO2膜
? 以CF4+O2 Plasma实现腔体清洁功能
? 可对应有机EL(OLED)的低温成膜用heater
? 使用Tray可搬送多种基板尺寸
? 通过使用真空Box实现C系列的间接连续制程(Sputter: CS-200,
Evaporation: CV-200)
产品应用:
? 功率器件
? LED、LD、高速device等化合物相关
? 有机EL(OLED)开发
? 太阳电池开发
青岛泰斯迈仪器设备有限公司
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