等离子四路质子多路气体PECVD射频电源高真空镀膜管式炉
发布时间 2021-04-02 10:28:50
产品描述
广泛应用于企事业单位科研和小批量生产，以及院校科研教学中涉及到的陶瓷，冶金，电子，玻璃，化工，机械，耐火材料，新材料开发，特种材料，建材领域。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）， 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。管式炉采用高石英管或高纯氧化铝刚玉管作为炉管，炉管设计有平置安装，。温区设计有单温区，双温区，三温区，五温区等。
1、数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5至 1125Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
2、内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量。
3、气体流量范围为0-200 误差为0.02%。
4、一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀。
5、不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入。
常规炉型选型表
PECVD
PECVD2
微信图片_20190412091712