ABL系列纳米级定位平台

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陈杨
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自1970年Aerotech开始研制**高性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及医学设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。

Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：Dedicated to the Science of Motion。

ABL1000气浮平台
1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.05um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
ABL10025
ABL10050
ABL10100
ABL10150

ABL1500气浮轴承精密直线电机平台
1专为高性能扫描和检测应用设计
2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4大负载高刚性几何特性极好
行程≤500mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

ABL15005
ABL15010
ABL15020
ABL15030
ABL15040
ABL15050


ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

ABL20010
ABL20020
ABL20030
ABL20040
ABL20050
ABL20075
ABL200100
ABL200120

ABL3600气浮平台ABL36025
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um

ABL8000气浮平台
1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.40um
平面度±0.40um

ABL80020
ABL80030
ABL80040
ABL80050
ABL80075
ABL800100

ABL9000气浮平台
1世上**高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um
ABL90300-300
ABL90500-500
ABLH90750-750
ABLH901000-1000
ABLH901200-1200

20130604021613513

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