中图激光干涉仪

一.中图激光干涉仪概述

中图激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。

二.中图激光干涉仪功能

[*]       测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。

[*]       具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。

[*]       可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

[*]       具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。

[*]       内置国内外通用的标准，如国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

[*]       可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

[*]       测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。

[*]       安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

三.中图激光干涉仪性能特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

四.中图激光干涉仪技术参数

[*]       系统性能

?    测量方式：单频

?    稳频精度：0.05ppm

?    动态采集频率：50 kHz

?    预热时间：5-10分钟

?    工作温度范围：0~38℃

?    环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%

?    存储温度范围：-20℃~70℃

[*]       环境补偿示值误差

?    空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    空气湿度传感器：±6% (0-95%)

?    大气压力传感器：±0.1kPa

[*]       线性测量

?    测量距离：0-40m

?    测量精度：0.5ppm (0-38℃)

?    测量分辨率：1nm

?    测量**大速度：3m/sec

五.中图激光干涉仪使用规定

1、 激光干涉仪必须定人保管，机加技术组人员专人**，专人送检，他人不得

随意动用，以防损坏，降低精度。 

2、 激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。 

3、 对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动，安置仪器前应检查三脚架的牢固性，整个作业过程中工作人员不得离开仪器，防止意外发生。 

4、 激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量，此时检测结果将收到很大的影响。 

5、 中图仪器干涉仪所配用的笔记本为**笔记本，该笔记本不得外借，也不能安装任何其他软件，防止软件冲突和病毒，保障测量数据的准确，以防测量数据丢失。 

6、 测量人员在拿取干涉仪之前，需先填写激光干涉仪使用申请单，填写申请表后，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门领导签字后，方可使用激光干涉仪。对其他部门人员如借用激光干涉仪，需填写借用干涉仪使用申请单，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门领导签字后，方可借用激光干涉仪。当干涉仪使用后，将要存库时，负责人必须点清器件，且所有器件良好，此时才能将干涉仪入库备案。 

7、 负责人要每月对激光干涉仪的器件进行清点，并查看是否有损坏、磨损等异常情况，将检查报告予以备案。

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