ENERGETIQ 激光驱动宽带光源

发布时间 2018-03-28 09:59:58

Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS?激光驱

动光源技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。具有高可靠性，

高性能，高亮度，长寿命等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括软X 射线（SXR），远紫外

线（EUV）, 深紫外线（DUV）, 并覆盖从可见光到红外光区（IR），波长范围从 170nm到2100nm 以

上。无电极的 LDLS 技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，并且延长了灯的

使用寿命。

部分型号参数：

产品型号	EQ-99-S	EQ-99-FC-S	EQ-1500
光波范围	170-2100nm	170-2100nm	170-2100nm
输出功率	0.5W	0.3W	1.5W
数值孔径	Up to 0.47	0.22	Up to 0.5
光源寿命	约10000 hrs	约10000 hrs	约10000 hrs
同步输出	自由空间	SMA连接器,光纤耦合宽带光输出	灵活的光学界面，自由空间或者光纤接口，
光源重量	0.7kg	0.7kg	5kg
光源尺寸	82.3×85.7X76.2mm	82.3×85.7×76.2mm	160×142.2×218.4 mm
应用	紫外- 可见光光谱测定法，光学组件测试，显微镜照明，环境分析，材料表征，高性能液体色谱（HPLC），气相测量，长寿命灯的应用需求	紫外- 可见光光谱定法，光纤测试，高性能光谱学，高端成像，高性能液体色（HPLC），显微镜照明，环境分析和监测，材料表征和测试，气相测量，过程质量监测，长寿命灯的应用需求	紫外- 可见光光谱测定法，光电发射电子显微镜（PEEM ），圆二色性光谱学，原子吸收光谱学，材料表征，环境分析，高光谱成像，气相测量，高级显微镜

典型客户：计量院，九院，中科大，南京大学，浙江大学，科磊中国，福建物构所，不能一一列出敬请谅解。

电极激光驱动光源技术

Energetiq 自主研发的激光驱动光源（LDLS）技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生

高效的宽频谱光。使用传统的方法，如弧光灯，氘灯，当使用电极连接电源和等离子体时，灯的亮度，紫

外能量，使用寿命非常有限。无电极的LDLS 技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，

光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线，并且延长了灯的使用寿命。

?革命性的新技术---连续激光等离子放电

?宽谱线，高亮度,从 170nm 到包括可见光区至1000nm 以上。

性能和特点优势

l 连续激光等离子体放电

l 极高亮度，波长完全覆盖从170nm 到所有可见光及以上的波长

l 解决了对灯需求的多样性（可代替氘灯，钨灯，氙弧光灯），简化光学系统

l 极好的空间稳定性，可重复测量

l 可在极短时间，或很长时间内有稳定的能量输出，可重复测量

l 长寿命，无电极工作，降低消耗成本，减少光路校准量

上海瞬渺光电技术有限公司

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