超硬质涂层（工具）真空镀膜机、纳米涂层设备

发布时间 2017-01-11 15:20:58

产品描述

[产品特征]

采用国际先进水平的阳极层离子源和国内**水平的平面矩形弧源
拥有多路反馈式控制系统：弧源控制，气路控制，工艺控制
采集工艺存盘、报警数据、方便数据采集及设备维修
独特八面体腔体设计，既提高设备空间利用率又起到方便维护和检修。
可镀超硬涂层如：TiN、TiC、ZrN、CrN、TiCN TiAlN、DLC等。
使用领域：
工具、刀具、钻头、铣刀、高档模具、精密零配件及电子产业。

[产品参数]

[样品图]

特征：
采用国际先进水平的阳极层离子源和国内**水平的平面矩形弧源
拥有多路反馈式控制系统：弧源控制，气路控制，工艺控制
采集工艺存盘、报警数据、方便数据采集及设备维修
独特八面体腔体设计，既提高设备空间利用率又起到方便维护和检修。
可镀超硬涂层如：TiN、TiC、ZrN、CrN、TiCN TiAlN、DLC等。
使用领域：
工具、刀具、钻头、铣刀、高档模具、精密零配件及电子产业。

VAKIA-HTC超硬质涂层（工具）真空镀膜机型号及技术参数
性能型号	VAKIA-HTC-700	VAKIA-HTC-900	VAKIA-HTC-1000
镀膜室尺寸	Ф700×H900mm	Ф900×H1100mm	Ф1000×H1200mm
电源类型	电弧电源、灯丝电源、脉冲偏压电源
真空室结构	立式前开门结构、后置抽气系统、双层水冷腔室
真空室材质	优质不锈钢材质腔体
极限真空	6.0×10-4Pa
抽气时间 (空载）	从大气抽至8.0×10-3Pa≤15分钟
真空获得系统	扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）
镀膜种类	硬质合金工具镀膜
电弧源	6台	6台或8台	8台或10台
偏压电源	20KW/1台	30KW/1台	30KW/1台
工件转架转动方式	行星式公自转、变频调速（可控可调）
工件烘烤温度	室温至550℃可控可调（PID温控）
工艺气体	3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统
冷却方式	水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。（客户提供）
控制方式	手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制
整机总功率	25KW	30KW	35KW
报警及保护	对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。
设备占地面积	W2m×L3m	W2.5m×L3.5m	W3m×L4m
其他技术参数	水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa
备注	镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺要求进行设计。