超硬质涂层(工具)真空镀膜机、纳米涂层设备
发布时间 2017-01-11 15:20:58
产品描述
[产品特征]
采用国际先进水平的阳极层离子源和国内**水平的平面矩形弧源
拥有多路反馈式控制系统:弧源控制,气路控制,工艺控制
采集工艺存盘、报警数据、方便数据采集及设备维修
独特八面体腔体设计,既提高设备空间利用率又起到方便维护和检修。
可镀超硬涂层如:TiN、TiC、ZrN、CrN、TiCN
TiAlN、DLC等。
使用领域:
工具、刀具、钻头、铣刀、高档模具、精密零配件及电子产业。
[产品参数]
[样品图]
特征:
采用国际先进水平的阳极层离子源和国内**水平的平面矩形弧源
拥有多路反馈式控制系统:弧源控制,气路控制,工艺控制
采集工艺存盘、报警数据、方便数据采集及设备维修
独特八面体腔体设计,既提高设备空间利用率又起到方便维护和检修。
可镀超硬涂层如:TiN、TiC、ZrN、CrN、TiCN TiAlN、DLC等。
使用领域:
工具、刀具、钻头、铣刀、高档模具、精密零配件及电子产业。
VAKIA-HTC超硬质涂层(工具)真空镀膜机型号及技术参数 |
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性能 型号 |
VAKIA-HTC-700 |
VAKIA-HTC-900 |
VAKIA-HTC-1000 |
镀膜室尺寸 |
Ф700×H900mm |
Ф900×H1100mm |
Ф1000×H1200mm |
电源类型 |
电弧电源、灯丝电源、脉冲偏压电源 |
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真空室结构 |
立式前开门结构、后置抽气系统、双层水冷腔室 |
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真空室材质 |
优质不锈钢材质腔体 |
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极限真空 |
6.0×10-4Pa |
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抽气时间 (空载) |
从大气抽至8.0×10-3Pa≤15分钟 |
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真空获得系统 |
扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵(具体型号可根据客户的要求进行配置) |
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镀膜种类 |
硬质合金工具镀膜 |
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电弧源 |
6台 |
6台或8台 |
8台或10台 |
偏压电源 |
20KW/1台 |
30KW/1台 |
30KW/1台 |
工件转架 转动方式 |
行星式公自转、变频调速(可控可调) |
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工件烘烤温度 |
室温至550℃可控可调(PID温控) |
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工艺气体 |
3路或4路工艺气体流量控制及显示系统 选配自动加气系统 |
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冷却方式 |
水循环冷却方式,另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。(客户提供) |
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控制方式 |
手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制 |
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整机总功率 |
25KW |
30KW |
35KW |
报警及保护 |
对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警,并执行相应保护措施及电气联锁功能。 |
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设备占地面积 |
W2m×L3m |
W2.5m×L3.5m |
W3m×L4m |
其他技术参数 |
水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa |
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备 注 |
镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺要求进行设计。 |
[效果图]
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