真空镀膜光学在线测试仪

 

镀膜厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标。镀膜产品的光密度（光密度= LOG（1/透过率））和镀层厚度成正比例关系，镀层厚度越厚，光密度值越大，透过率越低。所以通过测量镀膜产品的光密度可以监控镀膜层的厚度。

真空镀膜在线镀层厚度检测装置，适用于各类镀膜生产线上，通过选择监控产品的可见光透过率，红外线透过率和光密度值（OD），来达到在线检测和分析产品镀层厚度，镀层厚度的均匀性等性能是否在工艺要求之内。以便操作人员及时了解产品质量，如有问题，及早发现及调整工艺，提高产品品质，降低产品的废品率。

此仪器提供双路的RS485通讯接口，标准的MODBUS通讯协议，方便和PLC，单片机，人机界面，电脑等通讯。镀膜机可以直接读取此设备的光密度数据，实现控制自动化（闭环控制）。

一：真空镀膜在线测厚仪的参数

1.测试波长：根据客户需要选择，目前有如下的选择：

l  红外线：850 nm（默认选项，抗干扰能力强）

l  可见光：白光380nm-760nm

l  绿光：  530nm

2.透过率测量精度：优于±1%

3.透过率分辨率：0.005%；

4.光密度测量范围：0.00 OD --- 5.00 OD

5.光密度的分辨率：

 0.01  for  0.00 - 3.00 OD

0.05  for  3.00 - 5.00 OD

6.**大测量点数：36点

7.相邻探测头之间距离：**小70mm

8.发送接收探头之间距离：20mm

9.温度范围： -20°C --- +70°C

10.数据刷新周期：300ms

11.仪器整体尺寸：100mm（宽）*230mm（高）* 长度(根据客户要求定制)

12.需真空法兰电极芯数：6根（不配电脑监控），9根（配电脑监控）

13.电源：220V AC/50Hz

14.通讯：双路RS485

 

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