单向气浮工作台

 

序号	项目	内容
1	型号	T1-AB-02
2	**大承载	1000N
3	**大行程	1000mm
4	运动直线度	±1μ/1000mm
5	重复运动精度	±0.25μ

●可配国内外各个厂家的直线电机和光栅尺
●可配国内外各个厂家的直线电机驱动器、控制卡、工控机
●可选购重防护型，用于精密超精密生产设备
●上面可以装气浮转台（θ）
●可以增加Z向
●上面可以装微动台和反射镜，配合激光干涉仪，达到纳米级精度
●可提供订制服务，提供不同行程、承载、速度和精度的一维气浮工作台  

 

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