Anatech Plasma Systems
发布时间 2010-10-22 10:38:31
产品描述
Anatech Plasma
Systems石英滚筒式等离子清洗机气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。由此产生的电离气体和释放的高能电子组成了气体等离子或离子。已电离的气体原子的动能相对较小，除非他们通过电场加速。加速时，他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。
“绿色”的优势：无氟氯化碳和污水，操作和环境安全。排除有毒和腐蚀性的液体。等离子处理的主要缺点是较低的吞吐量。
我们致力于气体等离子处理，即让气体在常温下，无热相变下改变。这些气体可以是惰性的，也可以是起反应的。在反应性气体的情况下，利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。
石英滚筒等离子系统Quartz Barrel
Plasma Systems
SCE104石英滚筒式等离子清洗机
4" diameter x 8"
long
102毫米直径 x
203毫米长腔体
外形尺寸26" H x 23" W x 30"
D 660毫米 H
x 584毫米 W x
762毫米 D
SCE
106石英滚筒式等离子清洗机
6" diameter x 8"long
152毫米直径x
203毫米长腔体
外形尺寸 26" H x 23" W x 30"
D 660毫米 H
x 584毫米 W x
762毫米 D
SCE108石英滚筒式等离子清洗机
8" diameter x 8"long
腔体
203毫米直径x203毫米长
外形尺寸26"H x 23"W x
30"D 660毫米 H
x 584毫米 W x
762毫米 D
SCE110石英滚筒式等离子清洗机
10" dia x 18" L long
254毫米直径x
457毫米长腔体
外形尺寸36"H x 21"W x
30"D 914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE
115石英滚筒式等离子清洗机
10" dia x 18" L long
254毫米直径x
457毫米长腔体
外形尺寸22" W x 36" H x 27"
D 559毫米x914毫米H
x 686毫米 D
SCE150石英滚筒式等离子清洗机
10" dia x 18"L 2
4毫米直径x
457毫米长腔体
SCE
604石英滚筒式等离子清洗机
Four （4） chambers 4" x 8" diameter
Quartz
4个腔体102毫米x203毫米直径石英腔体
控制系统Control
System
? PLC
- "Touch-Panel" operation
PLC触摸面板操作
?
Digital count down timer （hrs, min, sec）
数字倒计时定时器（小时，分，秒）
?
Digital On-Screen vacuum display
数码屏幕真空显示器
? Gas
flow with needle valve control
气体流量针形阀控制
?
Manual tuning standard
手动校准标准
?
Optional: Automatic RF tuning for load match
?
可选的：自动射频调整与负载匹配
反应腔体Reactor
Chamber
? 4"
diameter x 8" long quartz chamber
?
4英寸直径x8英寸长的石英舱体
? RF
shielded
?
射频屏蔽
?
Front load
?
前负荷
尺寸Dimensions
? 26"
H x 23" W x 30" D
?
26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）
?
275 lbs Crated
weight
?
275磅包装重量。
射频功率源RF Power
Source
?
0-150 Watt RF 13.56 MHz supply
?
0-150
W射频13.56兆赫兹供应
?
Forward and reflected power readings
?
正向和反射功率读数
? Low
frequency optional
?
低频选项
真空系统Vacuum
System
? 3.8
CFM Standard service pump
? 3.8
CFM 标准的服务泵
? 1
Phase 50/60 120/208 VAC
?
1 相 50/60 120/208 VAC
?
Package with all interconnecting hardware
?
包装包含所有相关硬件
?
选项Optional
?
Oxygen service. Class "B" Preparation
?
氧气服务，B类备选
需要更详细的石英滚筒式等离子系统信息
请与迈可诺技术有限公司中国营销服务中心联系
Tel：400-8800-298；010-52914751（北京）021-33197367（上海）
020-85583301（广州）027-87163162（武汉）
Email: sales@mycro.com.cn
Website: http://www.mycrohk.com