激光矢量测量技术 应用于数控机床测量

      JOBS公司使用的光动公司的LDDM技术采用了单光束的MCV-500及双光束的MCV-2002从一个可移动的靶标上反射回调制过的激光束，带有位置信息的光束被探测到并经过处理用来产生查找表，因而能使控制器补偿误差。由于返回光束没有像传统的激光干涉仪那样对偏移有要求，因此设置非常快。仅需调整二个元件：一个单孔的发射和接受激光束的激光头，一个作为靶标的平面镜。

   JOBS公司报道了单光束的MCV-500利用分步对角线测量使得只要中断很少装配时间就可以得到三维体积定位误差，因此大大降低了成本。

   激光和平面镜安置在主轴和工作台上，沿每一轴X轴、Y轴、Z轴分别分步交替移动，这样重复一直走到对角线的对角上。所有三个轴每一步移动后对角线的定位误差就采集到了。这项技术采集了三倍的数据量，并允许可以测量得到每一轴移动时的位移误差。

   靶标移动的轨迹并不是直线，侧向移动是较大的。而传统的干涉仪不允许这么大的侧向移动，测不到数据。而LDDM激光干涉仪使用一个平面镜作靶标，平行于镜子的移动不会转移激光束，也不会改变从光源来的距离。因此，测量不会受到影响。

   **多可以有四个工作位置的温度传感器连接到自动温度补偿单元。自动温度补偿也对诸如环境因素，如空气温度、大气压力以及机床温度的变化提供补偿。 （编辑：boya123）