涂料专利：与外涂的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物

公开号：  CN101017326  公开日：   2007.08.15  申请人：   罗门哈斯电子材料有限公司  地  址：  美国马萨诸塞州 发明人：  V·R·瓦拉;J·W·撒克里;G·B·韦顿 专利代理机构：   上海专利商标事务所有限公司  代理人：  沙永生 摘要：　   　　与外涂的光致抗蚀剂组合物一起使用的底层涂料组合物。一方面，涂料组合物是可交联的，并包括一种或多种含有一种或多种对酸不稳定的基团和/或一种或多种碱反应基团的组分，这些基团随后进行交联反应。另一个方面，经处理底层涂料组合物可提供调节的水接触角。优选的底层涂料组合物可在等离子体蚀刻剂中显示出增加的刻蚀速度。另外优选的涂料组合物可提高相关光致抗蚀剂组合物平版印刷的性能。